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沁源，因沁水之源而得名，古为冀州之域，春秋为晋之地，战国前期属韩后属赵，秦属上党郡，西汉置谷远县，王莽时，改谷远为谷近县，三国为魏之地，晋废县，属上党郡。
北魏孝庄帝（元子攸）建义元年，（公年528年）始置沁源县，县治在今城南一里许。同年，于沁源县置义宁郡，领团城、义宁、安泽、沁源等县。北齐，北周时，沿用不改。
隋文帝（杨坚）开皇十六年（公元596年）治沁州，州治在沁源县城南。同年，沁源北部始置绵上县，属西河郡。隋炀帝（杨广）大业初，沁源属上党郡；隋恭帝（杨侑）义宁元年，仍复义宁郡。
唐高祖武德初，复沁州治。同年，又在沁源西部，分设招远县，沁州，三年废，招远县仍归沁源县。唐玄宗（李隆基）天宝元年（公年742年）改沁州为阳城郡。领沁源、和川、绵上，铜革是（个别记载没有铜革是）。唐肃宗（李享）乾元初复称沁州，故治在沁源县。
北宋时属威胜军，宋太宗（赵炅即匡义，亦名光义）太平兴国二年（公元977年）威胜军在铜 乱柳石围中，即今沁县城置沁州，从此，沁州便从沁源迁到沁县，沁源县仍属沁州，金初沁源亦属沁州；金宣宗（完颜王旬）元光二年（公元1223年）始治谷州，谷州治在沁源。
元世祖（忽必烈）至元年间废谷洲，属沁州。明清时，仍属沁州，州治在今沁县城。
民国三年（即公元1914年）。沁源属冀宁道，民国十九年（公元1930年）废道，属山西省。
抗日战争期间，沁源为共产党、八路军的根据地。一九四二年十月，为适应战争需要，在朱鹤岭以北地区分设绵上县，绵上县政府驻东村、赤石桥、水峪等地。一九四五年四月十一日，沁源军民围困日寇取得胜利后，沁源和绵上又合并为沁源县，县政府驻郭道镇。太岳区的岳北专署驻沁源城关。一九四九年太行区的长治专署和太岳区的岳北专署，合并为长治专署后，沁源县政府，从郭道迁到城关。
一九五八年沁县和襄垣合并不久，又和沁源三县合并为沁州，县政府驻沁县城。一九六零年沁县、沁源、襄垣又按原地分为三县，沁源县政府，从沁县迁回城关，至今。
绵上县唐时属沁州，北宋太宗太平兴国四年（公元976年）归属大通监。据《太平环宇记》称：大通监田径赛辖东、西两治，东治在绵上境，有铁矿炉五处，一处在今柏子镇，其四在王陶、大峪、水峪、柴子坪。宋仁宗（赵祯）宝元二年（公年1039年）徙冶大觉寺地即绵上村。金时，属沁州。元世祖（忽必烈）至元十年（公年1273）并入沁源县。根据上述记载，绵上县曾经历隋、唐、五代、宋、金、元十个朝代七百六十八年。据民国二十二年《沁源县志》记载，绵上县于明洪武二年并入沁源，如是则经历了十一个朝代七百七十三年。
抗战初期，沁源归太岳区领导。一九四一年七月七日，成立了晋冀鲁豫边区抗日民主政府。一九四一年九月一日，在沁源正式成立了太岳区抗日行政公署，归晋冀鲁豫边区政府领导。一九四六年秋，晋冀鲁豫边欧府和太岳抗日行政公署撒销成立了山西省人民政府。沁源属山西省人民政府领导，至今。
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